MEMS工艺中的键合技术

进行MEMS制造的沉积方法

干法刻蚀解决RIE中无法得到高深宽比结构或陡直壁问题

MEMS传感器在振动监测中的应用

惯性测量单元可实现高数据分辨率

基于深度学习（DL）的数据驱动的非参数化MEMS结构设计方法

采用MEMS技术制备的全硅法珀传感器

压电微机械超声换能器(PMUT)设计

用ADIN1110设计一款小巧但强大的传感器

用于射频MEMS器件陶瓷基板的新型制成技术

驻极体电容式麦克风的参数规格及设计

声光偏转器的优势和应用

基于MEMS的IMU设计开发应用

MEMS 振荡器：实现更小、更低功耗的物联网和可穿戴设备

工业应用的振动传感器

基于微流控系统开发单细胞生物芯片平台

微流体的关键概念和应用分析

一文看懂MEMS传感器

10kHz MEMS加速度计适合状态监控应用

如何通过应力和应变管理实现高精度倾斜/角度检测性能