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压阻式传感器的应变与温度交叉灵敏度分析
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2009-01-22
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运用二元函数的泰勒展开式在给出压阻式传感器的应变和温度灵敏度的同时，也给出了应变与温度交叉灵敏度大小的公式，阐明了其物理意义，并结合实际测量数据估计了交叉灵敏度，对于实际使用传感器并进行补偿具有一定的指导意义。
关键词 压阻式传感器 应变 温度交叉 灵敏度
压阻式传感器的实际应用已相当普及。该传感器除了具有很高的应变灵敏度外，对于温度也同样非常灵敏，因而在实际应用中要附加温度补偿。目前 补 偿 的方法比较多，这些补偿只能针对传感器单独由温度变化而引起的误差，即在同一传感器上，在应变与温度同时存在时建立起一个应变和温度变化的线性方程组，但这个方程组是由泰勒展开式的线性项构成的，只有近似的意义。忽略高阶项必然带来误差，其中第一非线性交叉项一交叉灵敏度对于线性方程组的求解值与实际值间的误差影响不能忽略，尤其在高精度条件下的测试。对于任何应变和温度变化情况下忽略交叉灵敏度将给线性近似方程组求解的值带来多大的误差尚未见定量分析的报道，而这种定量分析显然又具有很重要的意义。本文就拟应变和温度的交叉灵敏度问题根据理论模型给出定量计算公式并结合实例进行计算。
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