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太阳能级多晶硅中痕量金属杂质含量的ICP-MS测定

消耗积分:1 | 格式:pdf | 大小:446 KB | 2012-02-13

王兰

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考察测量过程中的质谱干扰及基体元素产生的基体效应,讨论了可能的消除方法,考察了内标元素Sc,Y,Rh等对基体抑制效应的补偿。采用Sc和Rh做内标元素补偿基体效应和灵敏度漂移,在测定中取得良好的效果。
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