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电子级多晶硅的生产工艺

消耗积分:0 | 格式:rar | 大小:281 | 2010-09-26

raymondyiu

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　就建设1 000 t 电子级多晶硅厂的技术进行了探讨。对三氯氢硅法、四氯化硅法、二氯二氢硅法和硅
烷法生产的多晶硅质量、安全性、运输和存贮的可行性、有用沉积比、沉积速率、一次转换率、生长温度、电
耗和价格进行了对比; 对还原或热分解使用的反应器即钟罩式反应器、流床反应器和自由空间反应器也进行了
比较。介绍了用三氯氢硅钟罩式反应器法生产多晶硅三代流程。第三代多晶硅流程适于1 000 t/ a 级的电子级多
晶硅生产。
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