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高压Trench IGBT的结构设计和工艺设计和制作说明
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2020-03-17
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阐述了高压Trench IGBT结构设计、工艺设计。文中先提出了高压1 200 V的Trench IGBT器件的结构模型;然后仿真其电性能，根据仿真的结果;设计出高压Trench NPT IGBT的版图及工采用该结构设计、工艺设计得到实际研制结果，对研制出1200V 15A和25A的高压Trench NPT IGBT进一步做了参数验证、应用验证和可靠性验证;最后说明采用该思路，设计的产品规模化生产情况。
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