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SAW和BAW及FBAR滤波器的详细资料说明
丁冬芹
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很多通信系统发展到某种程度都会有小型化的趋势。一方面小型化可以让系统更加轻便和有效，另一方面，日益发展的IC制造技术可以用更低的成本生产出大批量的小型产品。 MEMS（MicroElectromechanical System）是这种小型产品的相关技术之一。MEMS可以检测环境的变化并通过微型电路产生相关反应。MEMS的主要部分包括sensor（微传感器）或actuator（微执行器）和transducer（转换装置），其中sensor可以检测某种物理，化学或生物的存在或强度，比如温度，压力，声音或化学成分，transducer会把一种energy转换成另外一种（比如从电信号到机械波）。
目前MEMS被广泛的利用在多个领域里。
这篇文章主要说说MEMS的几种RF相关应用产品SAW，BAW， FBAR filter，也是目前手机中最常用的几种filter。 SAW，BAW和FBAR中，A都代表着Acoustic。Acoustic wave中文翻译成声波，声波按频率分成3段，audio， infrasonic（次声波） 和ultrasonic（超声波）。 Audio的频率为20Hz ~ 20KHz， 是人耳能听见的范围。 Infrasonic（次声波）是低频率，20Hz一下，人耳听不到，可以用来研究地理现象（比如地震）。 Ultrasonic（超声波）是20KHz到10 9KHz，也是人耳听不到的范围。下面提到的声波都是超声波的范围，首先我们看看SAW filter。
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