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超声功率放大器在MEMS超声测试中的应用

消耗积分:0 | 格式:pdf | 大小:0.18 MB | 2023-02-20

刘玉兰

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　MEMS（微机电系统）技术的不断发展，目前已经广泛应用在生物、航空、医学、航天等多领域。MEMS传感器即微机电系统 （Micro-electroMechanicalSystems），是指精密机械系统和微电子电路技术结合发展出来的一项工程技术，它的尺寸一般在微米量级。
MEMS传感器想要成功主要看封装技术，包括SIP（系统级封装）、WLP（晶圆级封装）、三维硅穿孔（TSV）等技术，采用三 维堆叠技术，能够把微型化后的传感器机械部件和其他微电子组件集成，依据不同的应用来选择不同的封装形式。 对于大部分的MEMS传感器来说，想让它正常使用和发挥功效，就要通过内部可动微结构在适当范围内进行变形和位移来实 现，所以对MEMS进行模态测试就要让其振动，也就是需要进行激励。
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