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无线传感器网络简化半导体制造作业

消耗积分:2 | 格式:pdf | 大小:1.28MB | 2023-11-24

李春梅

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半导体公司谨慎地管理着他们的半导体晶圆制造设施(晶圆厂),旨在实现正常运行时间、良率和生产量的最大化。工厂运营团队不断地寻找新的方法,以从制造过程中“挤出”哪怕是百分之零点几的效率升幅。在凌力尔特公司硅谷晶圆厂的晶圆片制造过程中,使用了超过175个特种气体钢瓶。必须密切地监测这些气体钢瓶以确保不间断的气体供应。一次意外的供气中断将导致价值数十万美元的晶圆报废、收入损失和在产品发运给客户的过程中出现不可接受的延误。为避免停机,技术人员一天三次以手动方式记录晶圆厂中每个气体钢瓶的压力。该手工过程容易出现人为错误,而且维护成本高昂。

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