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表面粗化提高绿光LED的光提取效率

消耗积分:1 | 格式:pdf | 大小:776 KB | 2012-02-22

王兰

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实验使用熔融KOH腐蚀绿光LED外延片获得预计的粗糙形貌,再通过常规工艺制成器件,结果给出不同表面做成器件的光强。实验证明经过表面粗化处理的器件,外量子效率提高了约25.7%。
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