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微电子机械系统(M EM S)中的铁电器件

消耗积分:5 | 格式:rar | 大小:177 | 2009-07-01

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提出了一种将铁电材料与M EM S 集成的新趋势, 并介绍了几种在这种趋势下应运而生的最新的微传感器和微执行器。
关键词　M EM S　铁电材料　微传感器　微执行器
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