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TiO2薄膜氧敏元件的研究与发展

消耗积分:3 | 格式:rar | 大小:205 | 2009-07-04

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综述了TiO2 氧敏传感器的发展概况、氧敏机理，并对以不同方法制备的TiO2 氧敏器件性能进行了比较，分析了如何提高氧传感器的性能，并对TiO2 氧敏传感器今后的发展和研究提出了几点建议。
关键词：氧敏传感器、薄膜、TiO2、制备方法、发展

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