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非平衡磁控溅射系统磁场的半解析法

消耗积分:5 | 格式:rar | 大小:344 | 2009-10-20

李娟

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非平衡磁控溅射系统磁场的半解析法:应用电磁场分析中的一种新方法———半解析法，对一种典型的非平衡磁控溅射系统进行了磁场分析) 结果表明，应用半解析法计算，求解变量少、方法简单，而且计算精度高，该方法相对于等效源法有严密的理论依据，标量位函数的表达式为级数解析式，有利于场强的计算，更有利于优化设计)
关键词：非平衡磁控溅射，半解析法，标量磁位，磁场强度
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