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MEMS惯性传感器的简介及其在控制系统中的应用
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2017-11-29
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MEMS惯性传感器作为工业应用领用新兴的应用元件，不论在商业、工业还是军工应用上都有着广阔的应用。文中给出了几种MEMS的在不同领域内的应用范例，并解析了相应的原理，并从一款较常用的MEMS入手提出了对相应领域内的解决思路。
MEMS是微机电系统（Mic ro-Electro-Mechanical SVstems）的英文缩写。它是随着半导体集成电路微细加T技术和超精密机械加T技术的发展而发展起来的，日前MEMS加T技术在传感器制作领域有很多应用．MEMS惯性传感器是一个不错的产品。从最初MEMS线性加速度传感器彻底革新了汽车安全气囊系统开始，从笔记本电脑硬盘保护到航天控制器中更为直观的运动捕捉，各种独特的功能和应用得以实现。
来自MEMS惯性传感器的信息经过处理和积分后，可以提供许多不同类型的位置、方向和运动的输出（见图1）。每种类型的运动都涉及到一系列应用相关的复杂凶素，对此必须加以了解。
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