激光位移传感器以其高精度、高效率、高可靠性等优点,应用于精密零件的形位和位置公差的检测中。CCD(电荷耦合器件)是激光位移传感器的主要部件之一,其性能直接影响到系统的测量结果。只有符合激光位移传感器工作要求的CCD驱动方法才能保证测量结果准确。
在驱动CCD时要解决的两个主要问题分别是驱动时序的产生和输出信号的采集处理。在驱动时序产生方面,以往的研究大多只以成功驱动CCD为目的,因此扫描频率不高,一般采用器件的典型频率1 MHz或者更低。偶有专门研究讨论高速驱动CCD的方法,但多是在面阵CCD上进行验证。以往的驱动方法一般只针对一种扫描频率,而激光位移传感器要求在不同工作模式下CCD扫描频率要改变。在输出信号的采集处理方面,除了信号反相放大和滤波这些常见的处理外,以往一般研究的是如何消除CCD的复位噪声和暗电流噪声。但在激光位移传感器的应用中,实验结果表明复位噪声和暗电流噪声对测量的影响并不明显。以往的研究中CCD受到的光照一般较强,但激光位移传感器中CCD接收的是漫反射的弱光,当扫描频率较高时输出信号急剧衰减,如何处理好不同扫描频率下的CCD信号是岿须解决的问题之一。综上所述,有必要设计一种针对在激光位移传感器中应用的线阵CCD驱动方法。
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