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差动电容传感器信号处理电路
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2010-04-16
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差动电容传感器越来越广泛地应用于诸如压力、加速度、直线位移、转角等物理量的测量，其电路结构依测量要求不同而不同．但其基本原理都是和用比斜信号处理法以传感器电容容量的变化来反映被测量的变化．电容变化可 是线性或非线性的。利用比倒信号处理法可 实现棱测量的精确．线性检测。所谓比例信号处理法即用传感器中两电容之差与两电容之和的比值来线性地反映棱测量。因此需要专门的信号处理电路将传感器电容变化转换为易于检测的电量，已经出现的技术方法有开关一电容(s／c)法，模数转换(A／D)法、电容、频率转换法、电容相位转换法等，其中适用于CMOS集成电路的SIC 法由于时钟馈线的影响精度较低，C／F法可rJ选到很高的精度，但由于需要微处理器来进行比斜运锋而难以满足时实时、快速的要求。近年来，^ 们在提高精度和速度方面不断探索，提出了各种提高精度和速度的方法。下面介绍两种实用的高精度、高速度差动电容传感器信号处理电路。
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