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光学差动法内反射原理实现二维小角度传感器的详细介绍
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2019-11-04
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文中介绍基于光学差动法内反射原理的二维小角度传感器，具有体积小、精度高、结构简单、量程可调的特点。该传感器可用于运动物体的在线姿态测量与控制，提高超精密驱动及定位装置的在线检测水平。
传感器基于内反射原理，为提高分辨力采用偏光入射和光学差动方法。假设入射光为P偏光，选定的初始入射中心角为。，设相对于。的变化量为△0，通过公式推导，我们可以得到正规化的输出为：
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