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高灵敏度差分电容检测电路的研究
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2010-04-26
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摘 要： 基于微机械工艺制作的加速度计，许多都是采用差动结构电容的变化来反映被测量的方向和大小。针对该需 求研制了检测微小电容变化的电路。它检测电容变化的频率范围为D C~3 0 k Hz ，对寄生电阻、电容本质不敏感，既可以 检测单边电容变化，也可以检测差动电容变化，而且很容易由分离电路元件实现。该电路输出噪声极低 ，标称电容为1 0p F时，电容检测分辨率可达3 a F/ ~ /Hz ，和量程为1g的电容加速度计连接 ，输 出灵敏度为4 .5 V／g，加速度检测分辨率可达7×1 0 g／~ ／Hz 。
关键词： 电容加速度计； 差分测量； 差分电容一 电压变换器
关键词： 电容加速度计； 差分测量； 差分电容一 电压变换器
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