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微小差分电容检测电路设计

消耗积分:5 | 格式:rar | 大小:142 | 2010-04-30

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摘要：针对电容式MEMS器件，设计了一种用来检测微小差分电容的电路，该电路主要有方波信号发生器、相敏解调和低通滤波电路等组成．具有抗干扰性能好、电路简单、易于集成的特点．通过主要器件——运放的合理选择，调试出较理想的结果．经实验验证，其分辨率可达10的负16次方F．
关键词：差分电容；充放电；相敏解调
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