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微机械惯性传感器的技术现状及展望

消耗积分:3 | 格式:rar | 大小:388 | 2010-08-17

吴藩

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对微机械惯性传感器微加速度计和微陀螺的技术现状进行了评述，根据其不同的技术实现，诸如制造过程工
作原理，控制系统，接口技术等对其进行了分类描述，这些微传感器的用途很广，而且相对于其传统器件来说有低成本。小尺寸&低功耗等特点，正在全世界范围内被广泛研究，最后对微机械传感器领域的一些新的进展进行了讨论并提出
了展望。
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