Femto 系列工业级光纤飞秒激光器具备稳定、可靠的性能，可保证 7 *24 小时稳定工作。 支持 mJ 级单脉冲能量、千瓦 GHz 高功率、高重频的飞秒激光输出；激光器可定制 Burst Mode 模式输出，自定义脉冲串形状及能量，满足多应用场景；可提供独立的 SHG 二倍频模 块或 THG 三倍频模块，支持多种波长切换输出；适应于高分子材料加工与处理、难加工金属 加工、陶瓷聚合物加工、半导体晶圆加工、新能源材料加工、合金材料加工、透明材料焊接。
产品特点
mJ 级单脉冲能量、千瓦 GHz 高功率 / 重频
脉宽可 <250 fs，可调脉宽至 ps 级
支持脉冲串模式输出
全光纤高稳定性，高光束质量
可靠的光、电一体化设计
支持 1035/517 /343nm 三波段切换输出
应用领域
温敏、硬脆材料加工
陶瓷聚合物加工
半导体晶圆、显示面板加工
难加工金属合金加工
复合薄膜加工
新能源材料加工
表面微结构加工
玻璃与金属、玻璃与玻璃焊接
双光子显微成像科研
产品参数
| Femto-10 | Femto-50 | Femto-200 | Femto-400 | Femto-1000 | FemtoG-1000 |
中心波长 | 1035±4 nm* | 1035±4 nm* | 1035±4 nm* | 1035±4 nm* | 1035±4 nm* | 1035±4 nm* |
输出功率 | > 10 W | > 40 W | > 40 W | > 60 W | > 100 W | > 1000 W |
最大单脉冲能量 | > 10 μJ | > 50 μJ | > 200 μJ | > 400 μJ | > 1 mJ | ~ |
最大脉冲串能量 | 20 μJ * | 200 μJ * | ~ | 1 mJ * | ~ | ~ |
重复频率 | Single-Shot to 1 MHz | Single-Shot to 800 kHz | Single-Shot to 200 kHz | Single-Shot to 150 kHz | Single-Shot to 100 kHz | 1±0.1 GHz |
脉冲宽度 | <250 fs to 10 ps | <250 fs to 10 ps | <250 fs to 10 ps | <300 fs to 10 ps | <500 fs to 6 ps | <800 fs |
光束质量 | M²≤ 1.3 (Typical < 1.2) | M²≤ 1.3 (Typical < 1.2) | M²≤ 1.3 (Typical < 1.2) | M²≤ 1.3 (Typical < 1.2) | M²≤ 1.3 (Typical < 1.2) | M²≤ 1.3 (Typical < 1.2) |
光斑圆度 | ≥90% | ≥90% | ≥90% | ≥85% | ≥85% | ≥85% |
光斑直径 | 2.5±1 mm,1/e² | 2.5±1 mm,1/e² | 2.5±1 mm,1/e² | 3±1 mm,1/e² | 3±1 mm,1/e² | 3±1 mm,1/e² |
说明：波长 *: 可选择双波段版本，支持 1035 nm/ 517 nm 双波段切换输出；脉冲串能量 *: 脉冲串形式和脉冲串能量属定制参数。
其他定制选型：FemtoA-IR-10-10 Femto-GN-4-4 Femto-IR-20-20 Femto-IR-40-40 Femto-GN-8-8 Femto-GN-16-16 Femto-GN-20-16
Femto-IR-80-60 Femto-IR-100-60 Femto-GN-32-24 Femto-GN-40-24 Femto-GN-74-15
Femto-GN-100-15 Femto-UV-20-10