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微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
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高精度MEMS实时时钟
2012-11-27
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2012-11-08
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基于BCB键合的MEMS加速度计圆片级封装工艺
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Design of a MEMS micromirror actuated by electrostatic repulsive force
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2011-08-23
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0
基于结构组件库的MEMS设计方法
2011-07-27
562
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