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线阵CCD微小尺寸测量误差分析

消耗积分:0 | 格式:pdf | 大小:1.12 MB | 2011-05-31

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利用线阵CCD可以进行一维无接触微小尺寸的测量，具体方法是建立经过衍射后的被测件尺寸与CCD视频输出的函数关系来达到对微小尺寸的高精度测量;并对该测量方法的误差进行了分析。

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