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直流磁控溅射电源研制及输出特性研究
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2010-06-27
刘洋
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摘要：磁控溅射技术在薄膜制备领域广泛应用，电源是磁控溅射镀膜的关键设备之一。本文介绍了全桥逆变直流磁控溅射电源主电路和控制电路的设计，该电源输出功率2kW，采用PI恒流控制，具有过流保护。通过阻性负载测试表明电源具有很好恒流特性，在输出功率超过400W时电源效率比较高。利用氮气/氩气不锈钢靶直流磁控溅射实际的等离子体负载测试表明：在保证真空室内压力不变的前提下，随着氮气比例的增加，电压下降，但电源恒流效果好，工作稳定。
关键词：磁控溅射；电源；全桥变换；恒流
关键词：磁控溅射；电源；全桥变换；恒流
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