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EEPROM和FLASH存储器的测试方法详细说明

消耗积分:0 | 格式:pdf | 大小:1.23 MB | 2019-11-21

cscmatrix

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  非易失存储器(Non-Volatile Memory)在系统关闭或无电源供应时仍能保持数据信息。一个非易失存储器(NVM)器件通常也是一个 MOS 管,拥有一个源极,一个漏极,一个门极另外还有一个浮栅(FLOATING GATE)。它的构造和一般的 MOS 管略有不同:多了一个浮栅。浮栅被绝缘体隔绝于其他部分。非易失存储器又可分为两类:浮栅型和电荷阱型在浮栅型存储器中,电荷被储存在浮栅中,它们在无电源供应的情况下仍然可以保持。所有的浮栅型存储器都有着类似的原始单元架构。他们都有层叠的门极结构如图一所示。第一个门极被埋在门极氧化层和极间氧化层之间,极间氧化层的作用是隔绝浮栅区,它的组成可以是氧-氮-氧,或者二氧化硅。包围在器件周围的二氧化硅层可以保护器件免受外力影响。第二个门极被称为控制门极,它和外部的电极相连接。浮栅型器件通常用于 EPROM(Electrically Programmable Read Only Memory)和 EEPROM(Electrically Erasable and Programmable Read Only Memory)。

  电荷阱型器件是在 1967 年被发明的,也是第一个被发明的电编程半导体器件。在这类型的存储器中,电荷被储存在分离的氮阱中,由此在无电源供应时保持信息。电荷阱器件的典型应用是在 MNOS(Metal Nitride Oxide Silicon),SNOS(Silicon Nitride Oxide Semiconductor)和 SONOS(Silicon Oxide Nitride Oxide Semiconductor)中。下图展示了一个典型的 MNOS 电荷阱型存储器的结构。

  MNOS 中的电荷通过量子机制穿过一层极薄的氧化层(一般为 1.5-3nm)从沟道中被注入氮层中。

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不良人常情 2020-06-15
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