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声表面波滤波器的基本结构和设计分析
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2020-07-07
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压电晶体的压电效应和逆压电效应在科学技术领域得到了广泛的应用。压电晶体作为基片制备出的声表面器件因其优良的电性能，易于实现器件小型化，被广泛的应用于通讯，雷达，导航等。近年来，新型压电晶体材料A3BC3D2O14硅酸镓镧结构晶体在声表面波、体表面波滤波器以及传感器等方面得到了广泛的应用。镓镧系列材料如La3Ga5.5Nb0.5O14（LGN）、 La3Ga5.5Ta0.5O14（LGT）和La3Ga5SiO14（LGS）具有声表面波速度小，机电耦合系数大等特点，有利于制备器件的小型化。另外，这类晶体的熔点很高，在高温下比较稳定，可以用来制备高温传感器，滤波器。本文设计了LGS晶体滤波器，介绍其结构，计算了声表面波滤波器的频率响应特性，与石英进行比较，为声表面波器件的制备打下理论基础。
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