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射频MEMS移相器的发展状况详细说明
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2020-07-08
贾埃罗
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1、引言微波移相器是相控阵雷达、卫星通信、移动通信设备中的核心组件，它的工作频带、插入损耗直接影响着这些设备的抗干扰能力和灵敏度，以及系统的重量、体积和成本，因此研究宽带、低插损的移相器在军事上和民用卫星通信领域具有重要的意义。近年来，随着RF MEMS开关的研究不断取得进展，使MEMS开关替代传统的铁氧体开关、p-i-n二极管、FET，设计制造宽带、低插损RF MEMS移相器成为可能。因此采用MEMS微波开关技术的单片集成RF MEMS移相器，具有较低的插入损耗、宽带宽、小体积的特点，是实现上万单元相控阵天线的关键技术，对卫星组网技术、战术、战略侦察、制导均有重要意义。
2、发展现状
由于相控阵雷达、卫星通信等领域应用的需要，RF MEMS移相器在国际上有众多的研究者，工作频段从几GHz到上百GHz，采用的结构有DMTL型、开关线型和反射型。
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