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FBAR的三种模型的详细说明

消耗积分:5 | 格式:pdf | 大小:0.05 MB | 2020-11-24

王尚岱

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　　常用的 FBAR 模型有三种：Mason 模型、BVD 和 MBVD 模型。 Mason 模型基于是 FBAR 的物理模型，BVD 和 MBVD 模型是 FBAR 的行为模型 Mason 模型 Mason 模型是一维的物理模型。可以很好的表征出 FBAR 的每一层物理结构。压电材料模型可以理解为在非压电材料的电学模型（下左图）上，增加声 / 电转换电路（下右图）。在这个电路基础上，可以再添加顶电极层、底电极层、支撑层等等，完成整个 FBAR 的等效电路，如下图。（计算网络终端阻抗的方法用的是微波电路里的传输线方程，这让我倍感亲切）

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