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半导体激光器的衍射准直透镜的优化设计
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针对国内外现有半导体激光器准直器件的缺点，提出了一种用于半导体激光器准直的相位型二元菲涅耳衍射透镜的优化方法。该方法在现有衍射透镜加工设备分辨率条件下，可提高衍射透镜的衍射效率，增大衍射透镜的数值孔径。
关 键 词 半导体激光器; 衍射理论; 二元菲涅耳衍射透镜; 准直; 优化设计
Abstract In this paper, we bring forth a new optimal design method of fresnel diffractive lens using in light beam collimation of laser diode. By this way we can design high diffraction efficiency, as well as lager numerical aperture diffractive lens under current machine fabrication condition.
Key words laser diode; diffraetive theory; binary Fresnel diffractive lens; light beam collimation; optimal design
半导体激光器由于其体积小、重量轻、功耗低和可直接调制等优点，在激光雷达、激光通信、固体激光器的抽运等方面得到了广泛的应用［1,2］。但半导体激光器也存在出射光束发散角较大，在垂直和平行于发光面方向的光束发散角相差很大，会形成固有像散的缺点。所以在应用半导体激光器时必须对其出射光束进行消像散、准直。
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