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CMOS非制冷红外传感器的热学设计
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2011-06-10
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对于非制冷红外传感器来说，器件的总热导同时影响着响应率和热响应速度，是一个至关重要的量。本文基于0.18μm的标准CMOS工艺，以易与IC工艺兼容的二极管型非制冷红外传感器为研究目标，首先分析几个重要结构参数对象元热学特性的影响，其次利用有限元仿真软件ANSYS对象元的温度分布和瞬态热响应进行仿真，以仿真结果为参考对象元的几个重要结构参数进行优化，最终得到一组性能较优的结构参数。
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