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PCB激光投影光刻照明系统的设计

消耗积分:2 | 格式:pdf | 大小:0.25 MB | 2023-10-23

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简介：针对大面积、高产量和节约型印制电路板(PCB)生产使用的激光投影光亥4机，利用ZEMAX工程光学设计软件，对其照明系统进行了模拟设计与优化，并对优化后的结果进行了分析．对于设计的照明系统，其像面均匀性、光斑大小和形状、像差以及照明系统与投影物镜的匹配都符合实际要求
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