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半导体器件热测量技术
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2011-10-31
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半导体器件热特性测试仪的性能指标设计要求
1、快速。
2、高精度。
3、测量的程序化及自动化
4、测量数据分析拟和的自动化
5、测量恒温平台的自动恒温控制
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