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MOCVD片式红外辐射系统调节曲线的仿真与分析

消耗积分:0 | 格式:pdf | 大小:561 KB | 2012-01-10

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通过计算表明,片式加热器加热系统在石墨盘上的调节曲线峰值变化与加热器的加热功率、水平位置和大小有很密切的关系,文中解释了峰值移动的内在原因。得出设计加热器一些原则:加热器越多调节越灵活;外圈加热器最大加热功率要大于内圈加热器;最外圈加热器宜小。研究结果对MOCVD反应室加热系统设计以及在实际生产中的加热条件优化提供了参考。

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daojianxiao86 2014-03-18
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很是期待的知识，谢谢分享 收起回复

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