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GBT 25189-2010 微束分析 扫描电镜能谱仪定量分析参数的测定方法
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2014-09-19
FSW122
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x射线能谱仪是扫描电镜常用的配置，扫描电镜一能谱仪化学成分定量分析的准确度不仅取决于能谱仪，也取决于扫描电镜性能。对扫描电镜一能谱仪定量分析性能的检验可将两者作为统一的整体来考虑。本标准适用于对扫描电镜中影响定量分析性能的相关参数和能谱仪基本参数的测定，并以元素成分定量分析结果对仪器做出综合分析。
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