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COMSOL系列资料_MEMS模块简介
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2015-12-30
赵俊波
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MEMS 模块用于仿真器件的稳态和动态性能，并能够耦合基于电路的主动和被动器件，处理 MEMS 传感器和执行器中广泛存在的物理现象。该模块的物理场接口可用于模拟结构力学、静电、电流、压电、压敏电阻、薄膜流体流动、传热和电路。这些物理场接口也能够任意耦合在一起来求解多物理场问题，并且一系列预置耦合也可用于 MEMS 物理场接口，包括机电（耦合静电力和结构力学）、焦耳热、焦耳热和热膨胀，以及流固耦合。
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