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ControlNet技术在PECVD设备中的应用
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2009-08-18
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本文介绍了ControlNet 总线技术特点，并将其应用到PECVD 设备的控制系统中。试验结果表明，采用ControlNet 总线控制技术，PECVD 设备淀积薄膜的质量有明显地提高。
关键词：现场总线，ControlNet，PECVD
ControlNet 是一种新的面向控制层的实时性现场总线网络，在同一物理介质链路上提供时间关键性I/O 数据和报文数据，是具有高度确定性、可重复性的高速控制和数据采集网络，非常适用于一些控制关系有复杂关联、要求控制信息同步、协调实时控制、数据传输速度要求较高的应用场合。
关键词：现场总线，ControlNet，PECVD
ControlNet 是一种新的面向控制层的实时性现场总线网络，在同一物理介质链路上提供时间关键性I/O 数据和报文数据，是具有高度确定性、可重复性的高速控制和数据采集网络，非常适用于一些控制关系有复杂关联、要求控制信息同步、协调实时控制、数据传输速度要求较高的应用场合。
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