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半导体芯片电路线宽显微测量精度分析
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2009-09-09
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在显微图像的尺寸测量中，由于各种因素的影响，测量结果不可避免地存在着误差。为了充分认识并进而减小这些误差，提高测量精度，文章对标准件标定、显微光学系统的景深、对焦、光照亮度以及温度等影响测量结果的误差源作了细致的研究，给出了半导体芯片电路线宽显微测量结果及精度分析。
关键词：半导体芯片，显微测量，精度分析
关键词：半导体芯片，显微测量，精度分析
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