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通信领域中的MEMS器件及发展动态

消耗积分:3 | 格式:rar | 大小:228 | 2009-11-16

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微电子机械系统（MEMS）技术在通信领域中有着广泛的应用前景，本文介绍了在无
线通信和光通信中的MEMS 器件如MEMS 电感、电容、开关、滤波器、光检测器等MEMS 器件的原理、结构和发展概况，指出了MEMS 器件发展所面临的问题和方向。
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