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卧式热壁型PECVD设备
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2009-12-18
李艳
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卧式热壁型PECVD 设备
北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司
1、简介
我公司研制的卧式PECVD 设备专门应用于太阳能电池制造领域中氮化硅薄膜的淀积工
艺。由于PECVD 淀积氮化硅膜时,在生长氮化硅膜作为减反射膜的同时生成了大量的原子
氢，这些氢原子不但具有表面钝化作用，同时可以很好的钝化硅中的位错、表面悬挂键，从而提高硅片中载流子迁移率,具有体钝化的作用。可以极大的提高太阳能电池片的转换效率。是太阳能电池生产线上最关键的设备之一。
我公司生产的PECVD 由炉体机柜、电气控制系统、气路系统、真空系统、压力控制系统
和RF 电源等组成。采用工作站对工艺时间、温度、气体流量、阀门动作，以及工作压力等进行实行全自动控制；工艺稳定，可靠性高，所淀积的氮化硅膜各项数据都符合太阳能电池制程的要求，达到了国际同类产品水平。
北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司
1、简介
我公司研制的卧式PECVD 设备专门应用于太阳能电池制造领域中氮化硅薄膜的淀积工
艺。由于PECVD 淀积氮化硅膜时,在生长氮化硅膜作为减反射膜的同时生成了大量的原子
氢，这些氢原子不但具有表面钝化作用，同时可以很好的钝化硅中的位错、表面悬挂键，从而提高硅片中载流子迁移率,具有体钝化的作用。可以极大的提高太阳能电池片的转换效率。是太阳能电池生产线上最关键的设备之一。
我公司生产的PECVD 由炉体机柜、电气控制系统、气路系统、真空系统、压力控制系统
和RF 电源等组成。采用工作站对工艺时间、温度、气体流量、阀门动作，以及工作压力等进行实行全自动控制；工艺稳定，可靠性高，所淀积的氮化硅膜各项数据都符合太阳能电池制程的要求，达到了国际同类产品水平。
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