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PECVD工艺中RF射频功率对μc-Si:H薄膜各项参数影响
2024-07-23
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热氧化与PECVD生成氧化硅的方式比较
2024-05-19
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拓荆科技2023年业绩预增，预计净利润6亿至7.2亿元，同比增长62%
2024-01-23
777阅读
LPCVD和PECVD制备掺杂多晶硅层中的问题及解决方案
2024-01-18
2090阅读
盛美上海：Track设备预计年底与***对接 将打破当前市场一家独大局面
2023-11-14
879阅读
拓荆科技第三季度主营收入6.99亿元，同比上升49.22%
2023-10-30
615阅读
沉积氮化硅薄膜的重要制备工艺——PECVD镀膜
2023-09-27
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技术革新！菲沃泰PECVD技术直击汽车行业痛点
2023-03-08
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盛美上海进军PECVD市场，支持逻辑和存储芯片制造
2022-12-13
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氮化硅LPCVD工艺及快速加热工艺(RTP)系统详解
2022-10-17
1.1w阅读
国内PECVD设备唯一产业化厂商 拓荆科技申请科创板IPO申请获受理
2021-07-13
1.1w阅读
改造管式PECVD设备时经常会遇到哪些问题
2020-01-27
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PECVD沉积SiO2和SiN对P-GaN有什么影响
2018-12-17
1788阅读
太阳能电池片PECVD介绍与目的及其钝化作用的分析
2017-09-25
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PECVD方法制备硅太阳电池及SiN薄膜工艺的研究进展
2017-09-15
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PECVD真空沉积系统与薄膜太阳能电池的介绍
2017-09-15
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PECVD功率对减反射膜及电池电性能的影响_科技论文_袁静
2015-05-04
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首台国产12英寸PECVD设备诞生
2011-11-08
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卧式热壁型PECVD设备
2009-12-18
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