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MEMS降阶宏模型仿真平台研究
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2009-12-19
听风说梦
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随着MEMS 系统级设计成为研究的热点，MEMS 系统级CAD 的开发日益重要。论文介绍了一种基于降阶宏模型MEMS 系统级仿真平台，通过有限元方法提取MEMS 器件几何物理数据，建立MEMS 器件有限元模型，利用Krylov 子空间算法缩聚自由度建立宏模型，通过系统级仿真平台对此进行系统级仿真。 整个流程通过VC++编译器调用ANSYS、嵌入封装的算法动态链接库、集成SIMULINK 系统仿真器完成。并用双端固支梁实例对所有模块加以验证，仿真结果准确，计算效率较高。
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