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PCMR体声波谐振器多物理场仿真及芯片制作

消耗积分:3 | 格式:rar | 大小:0.64 MB | 2018-02-04

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　　近年来，随着微电子机械系统（MEMS）技术的迅速发展，MEMS三维加工手段结合压电、铁电材料的研究，最终产生了BAW （Bulk Acoustic Wave，体声波）谐振器件，2001年，Agilent成为第一个在业界成功推出FBAR双工器的企业。FBAR由于其工作原理限制，无法实现单芯片多频段的功能，随着BAW概念和MEMS技术的进一步发展，另一种谐振器模式也引起了人们的关注，那就是压电轮廓模式谐振器PCMR （Piezoelectric　Contour-Mode Resonator）。这种谐振器同样是利用体声波进行工作，其制作工艺也仍然采用MEMS工艺，但与FBAR利用厚度控制谐振频率不同，PCMR利用轮廓结构来控制谐振频率。此谐振器的出现，为无线通信系统前端模块的一体化，甚至单片多频段的实现提供了新的思路和途径。

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