资料下载
×
薄膜体声学谐振器(FBAR)USPCS波段双工器的制造和性能注意事项
消耗积分:0 |
格式:pdf |
大小:0.21 MB |
2023-07-26
h1654155273.0656
分享资料个
薄膜的制造工艺流程和测试数据体声谐振器 USPCS 频段 （1.9 GHz） 双工器呈现。这些器件的典型插入损耗Tx/天线为 ~1.8 dB，接收/天线路径为 ~2.2 dB。隔离性能在 Rx 频段为 ~ -42 dB 和 ~ -53该技术还演示了Tx频段的dB。从通带到阻带的 10 MHz 滚降可适应频率随温度和允许合理的工艺裕量。
介绍
虽然看似简单，但悬浮膜FBAR设备的制造并非易事。必须小心采取确保关键变量，如中心频率、声耦合常数、电气和机械 Q 以及结构问题（包括薄薄膜应力）被仔细控制。所有这些变量必须进行管理以优化性能和可靠性和过程吞吐量。
声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。 举报投诉
评论(0)
发评论
- 相关下载
- 相关文章
