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一种闭环自激式驱动的硅微机械电场传感器

消耗积分:5 | 格式:rar | 大小:221 | 2010-02-10

张涛

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该文提出了一种闭环自激式驱动的微型电场传感器方案。利用自动增益控制的原理实现闭环自激驱动，使得微传感器能够始终工作在谐振状态，且振动幅度保持稳定。用matlab-simulink 工具对系统进行了仿真，结果表明，当传感器的谐振频率发生0.5%的漂移时，系统可以重新捕捉并锁定到新的谐振频率，和开环驱动方案相比，传感器振幅的衰减度从30%降低到0.1%之内，灵敏度从缩减50%改进到缩减0.1%之内。
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