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如何设计一个多晶硅压力传感器

消耗积分:1 | 格式:pdf | 大小:0.16 MB | 2020-03-11

王小刚

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　　研制一种多品硅压力传感器。它采用二氧化建介质膜隔离代替p-n结隔离，提高了工作温度；通过控制挣杂浓度，改善了温度持性。实验表明，该传感器灵敏度高，工作温限高，温度漂移小.

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