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硅岛式微谐振压力传感器灵敏度分析与仿真
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2021-03-18
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微谐振式压力传感器尺寸小、重量轻、精度高并具有数字输出， 在航空航天等领域有着广阔的应用前景。然而由于微机械加工工艺的限制， 复杂结构的制作存在很多困难， 因而为实现高灵敏度压力测量， 微谐振式压力传感器的结构设计就显得尤为重要， 因此提出一种新型硅岛式谐振梁支撑结构， 它利用硅薄膜作为典型的一次敏感元件， 并在其上表面中央部位设计了两个硅岛凸起平台， 用以固定硅谐振梁， 并通过有限元软件ANSYS 进行仿真。分析结果表明， 在一定量程内， 该结构能有效提高谐振梁内的应力放大倍数， 进而提高微压力传感器的灵敏度。
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