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三坐标测量如何实现占地面积小?测量精度高?仪器长时间精度稳定?

消耗积分:0 | 格式:docx | 大小:622.79 KB | 2025-08-28

中图仪器

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高精度三坐标测量机,结构形式基本上都是固定桥形式,固定桥精度高,但是占地面积都比较大。Mizar Gold相对于固定桥,占地面积小,总重量轻,运输安装方便。

Mizar Gold如何实现高精度

相信大家在用三坐标测量探测误差(MPEP)的时候,都会发现一个现象,垂直度补偿值越多(垂直结构没调到位,通过软件补偿垂直度),探测误差越差?

三坐标的误差补偿,主要就是通过软件对结构的21项系统误差进行补偿。由于三坐标机器是X/Y/Z三个平移运动轴,像直线度这种误差比较容易通过主机移动来补偿,角度误差,会通过算法转化成平动进行补偿。但是,结构上角度是始终存在的,没办法消除,就会因为角度带来残余误差。

三坐标采用陶瓷横梁和Z轴,确保了横梁和Z轴的平面精度在2μm以内,给整机的角度误差控制在2角秒以内。同时,陶瓷的刚性远远优于花岗岩和铝合金,这样横梁在受到滑架压力的时候,也基本没有变形量。因此,通过减小系统的结构误差,减小补偿量,从而提高系统的精度。

Mizar Gold如何实现稳定性的提升

采用花岗岩或者铝合金,长时间的稳定性很难保证,采用陶瓷,能使导轨保持长时间的稳定。

如下图所示,同一台机器,不同的横梁材料,长时间检测横梁XRY的角摆,陶瓷横梁的角摆稳定在0.5角秒以内波动,而铝合金,XRY角摆的波动量在2角秒。

其次,通过将减速器的传动,设计为多楔带,能够减少减速器传动过程中的振动和刮边,从而减少机器测量过程中的齿形啮合带来的不确定性,提高稳定性。

除此之外,三轴采用非金属材料,热膨胀系数低且基本相同,实现三轴热匹配。

而且,Mizar Gold三坐标测量机配备温度传感器,能对温度变化进行补偿。从而提高设备的精度和稳定性。

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