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激光干涉仪快速检测三坐标测量机垂直度

消耗积分:0 | 格式:docx | 大小:1.94 MB | 2022-12-28

罗健

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三坐标测量机测量精度高、效率高，广泛应用在精密加工检测领域。它与数控机床是保证工件测量与加工精度的关键设备。其中作为高精度的测量基准，几何误差的快速、高精度检测技术都是三坐标测量机性能提升的关键。三坐标测量机运行速度的加快，动态误差往往会比静态/准静态误差对测量精度影响更大。特别在高速测量过程中，产生的自激振动和受迫振动，都会产生动态误差。激光干涉仪是常用的机床、三坐标测量机几何误差检测的手段。

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