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Mentor Graphics DFM 解决方案
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2010-06-16
王强
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新的 DFM 设计流程使用了明导的Calibre YieldAnalyzer 在所有的版图设计层进行关键区域分析（CAA）。CAA 能够找出易发生因为随机微粒所造成的版图布局短路或断路缺陷的区域。Calibre YieldAnalyzer 也进行关键特征分析（CFA），对传统建议的规则进行扩大分析。YieldAnalyzer 使用了一个基于模型的方法来自动把布局几何测量参数填入良品率公式来确定布局设计中对制造工艺的变异窗口具有高敏感度的区域。之后YieldAnalyzer 就把结果数据以便于理解的图表形式呈现给工程师。举例来说，CFA 分析能够确定由于工艺变异所引起的系统性问题的热点，这些问题包括光刻、CMP、阻抗稳定性和蚀刻特性。YieldAnalyzer 为设计师提供专门指导使他们能够快速确定热点，并进行优先级的评级，来决定对布局层做怎样的改动可以最大程度的提高良品率。
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