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DFM在Foundry的解决方案- 通过Calibre LF

消耗积分:2 | 格式:rar | 大小:233 | 2010-06-16

李娟

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Litho-Friendly Design 解决方案的基本概念:事实上，可制造性设计并不完全是一个新的概念。设计规则检查(DesignRule Check)被认为是最早期的可制造性设计的一种方式。如果能够通过设计规则检查， 那么这样的芯片版图被认为是得到了可以被生产的要求。尽管设计规则检查仍然在被广泛的应用，但是随着技术节点的进步，越来越多的复杂效应无
法被这样基于规则的方法所涵盖。这是因为设计规则并不能反映出制造工艺流程
的可控制范围内的变化起伏以及器件的电学性能、产品良率对于这种变化起伏响
应敏感程度。
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