什么是静电
静电是由于物质表面的正 负电荷分离所造成电位
静电的高低与材料特性 环的温度湿度等密切相关
常见静电产生源
地 板 尤其是塑料地板或地毯
椅 子 木 质 塑 料 或化学材质
衣 服 尼龙及一般布料
工作台面 磨 光 油漆及上蜡
其 它 塑料垫 文件夹等任何可能产生磨擦的地 方
电子行业除 ESD 损伤外 静电还会导致 ESA (Electro-Static Attraction) EMI(ElectroMagnetic Interference) 对净化间最怕的是 ESA导致的表面污染物如一个 4 英寸晶圆在 1000V电荷的作用下 1 微米颗粒撞击时可产生 830,000 磅//平 方英寸的速度 从而发生损坏
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